الركيزة كربيد السيليكون

وفقًا لمجالات التطبيق المختلفة، تشمل التصنيفات الأساسية ما يلي:

1) النوع الموصل: يمكن معالجته أيضًا في أجهزة الطاقة مثل صمامات شوتكي الثنائية، وMOSFET، وIGBTs، وما إلى ذلك، وتطبيقه في مجالات مثل مركبات الطاقة الجديدة، والنقل بالسكك الحديدية، ونقل وتحويل الطاقة العالية.

2) النوع شبه العازل: يمكن استخدامه أيضًا لإنتاج أجهزة الموجات الدقيقة والترددات الراديوية مثل HEMTs، والتي يتم تطبيقها في مجالات مثل اتصالات المعلومات والكشف الراديوي.

ينتمي تحضير ركائز كربيد السيليكون إلى صناعة مكثفة للتكنولوجيا والعمليات، ويتضمن تدفق العملية الأساسية ما يلي:

1) يتضمن تصنيع المواد الخام خلط مسحوق السيليكون عالي النقاء ومسحوق الكربون وفقًا للصيغة، وتفاعلهما في غرفة التفاعل عند درجات حرارة عالية تزيد عن 2000 درجة مئوية لتصنيع جزيئات كربيد السيليكون بأشكال بلورية وأحجام جسيمات محددة. من خلال عمليات مثل التكسير والغربلة والتنظيف، يتم إنتاج مواد خام مسحوق كربيد السيليكون عالية النقاء والتي تلبي متطلبات نمو البلورات.

2) النمو البلوري، العملية السائدة حاليًا في السوق هي طريقة النقل بمرحلة الغاز PVT. قم بتسخين مسحوق كربيد السيليكون في غرفة نمو مغلقة ومفرغة عند درجة حرارة 2300 درجة مئوية لتساميه إلى غاز التفاعل. بعد ذلك، يتم نقله إلى سطح بلورة البذور للترسيب الذري، وينمو إلى بلورات مفردة من كربيد السيليكون.

3) تشمل المعالجة الكريستالية بشكل أساسي عمليات مثل معالجة السبائك، وقطع السبائك، والطحن، والتلميع، والتنظيف، وما إلى ذلك، وتشكيل ركيزة كربيد السيليكون في النهاية.