Podłoże z węglika krzemu

Według różnych dalszych obszarów zastosowań, podstawowe klasyfikacje obejmują:

1) Typ przewodzący: można go dalej przetwarzać na urządzenia mocy, takie jak diody Schottky'ego, tranzystory MOSFET, IGBT itp. i stosować w takich dziedzinach, jak pojazdy nowej energii, transport kolejowy oraz przesył i transformacja dużej mocy.

2) Typ półizolacyjny: można go dalej wykorzystywać do produkcji urządzeń mikrofalowych i radiowych, takich jak HEMT, które są stosowane w takich dziedzinach, jak komunikacja informacyjna i wykrywanie radia.

Przygotowanie podłoży z węglika krzemu należy do branży wymagającej dużej technologii i procesów, a podstawowy przebieg procesu obejmuje:

1) Synteza surowców polega na mieszaniu proszku krzemu o wysokiej czystości i proszku węgla według wzoru i poddaniu ich reakcji w komorze reakcyjnej w wysokich temperaturach powyżej 2000 ℃ w celu syntezy cząstek węglika krzemu o określonych postaciach kryształów i rozmiarach cząstek. W procesach takich jak kruszenie, przesiewanie i czyszczenie produkowane są surowce w postaci proszku węglika krzemu o wysokiej czystości, które spełniają wymagania dotyczące wzrostu kryształów.

2) Wzrost kryształów, obecnie głównym procesem na rynku jest metoda transportu w fazie gazowej PVT. Ogrzać proszek węglika krzemu w zamkniętej i próżniowej komorze wzrostowej w temperaturze 2300°C w celu sublimacji do postaci gazu reakcyjnego. Następnie jest przenoszony na powierzchnię kryształu zaszczepiającego w celu osadzania atomowego, w wyniku czego powstają monokryształy węglika krzemu.

3) Obróbka kryształów obejmuje głównie procesy takie jak obróbka wlewków, cięcie wlewków, szlifowanie, polerowanie, czyszczenie itp., Ostatecznie tworząc podłoże z węglika krzemu.