Chất nền cacbua silic

Theo các lĩnh vực ứng dụng tiếp theo khác nhau, các phân loại cốt lõi bao gồm:

1) Loại dẫn điện: Nó có thể được xử lý thêm thành các thiết bị điện như điốt Schottky, MOSFET, IGBT, v.v. và được áp dụng trong các lĩnh vực như phương tiện năng lượng mới, vận chuyển đường sắt, truyền tải và biến đổi năng lượng cao.

2) Loại bán cách điện: Nó có thể được sử dụng thêm để sản xuất các thiết bị tần số vi sóng và vô tuyến như HEMT, được ứng dụng trong các lĩnh vực như truyền thông thông tin và phát hiện vô tuyến.

Việc chuẩn bị chất nền cacbua silic thuộc ngành công nghiệp chuyên sâu về công nghệ và quy trình, và quy trình cốt lõi bao gồm:

1) Tổng hợp nguyên liệu thô bao gồm trộn bột silicon có độ tinh khiết cao và bột carbon theo công thức và cho chúng phản ứng trong buồng phản ứng ở nhiệt độ cao trên 2000oC để tổng hợp các hạt cacbua silic với dạng tinh thể và kích thước hạt cụ thể. Thông qua các quá trình như nghiền, sàng lọc và làm sạch, nguyên liệu bột cacbua silic có độ tinh khiết cao đáp ứng yêu cầu cho sự phát triển tinh thể được tạo ra.

2) Tăng trưởng tinh thể, hiện nay quy trình chủ đạo trên thị trường là phương pháp vận chuyển pha khí PVT. Đun nóng bột cacbua silic trong buồng tăng trưởng chân không và kín ở 2300°C để thăng hoa thành khí phản ứng. Sau đó, nó được chuyển lên bề mặt của tinh thể mầm để lắng đọng nguyên tử, phát triển thành các tinh thể đơn silicon cacbua.

3) Xử lý tinh thể chủ yếu bao gồm các quá trình như xử lý phôi, cắt phôi, mài, đánh bóng, làm sạch, v.v., cuối cùng tạo thành chất nền cacbua silic.